压模的安装和处理
压模的安装和处理发布日期: 2024-04-05 来源:火狐体育真人入口
,这些晶圆在 Mylar 薄膜(箔带)上切割和交付。 该箔带固定在适用于大多数自动贴片机的金属晶圆框架上。 如果一个单元被黑色墨点标记,则认为它是一个坏单元。
所有组装在铝箔胶带上的晶圆都将装在塑料蛤壳中,随后将其插入防静电自封袋中。 要求袋子只能在洁净室中打开,并在打开后立即存放在黑暗、充满氮气的柜子中。 晶圆可以单独运输,也可以在一个塑料防静电拉链袋中以多个翻盖形式运输。 每个翻盖上的标签将包括合格芯片的数量、采购订单号(如果适用)、零件号以及批号和晶圆号。 铝箔胶带上还会写有批次和晶圆编号。
储存温度为 19-26 °C:在适当的存储环境下,锯切晶圆的存储时间约为五年。 超出此限制的存储,或存储在不同或不受控制的环境中,有几率会使芯片键合(芯片粘连)时出现拾取问题或由于铝焊盘腐蚀而导致引线键合不可靠。
所有类型传感器芯片经过 100%电气测试,以保证它们符合数据表限制。 对晶圆进行目视检查,以确保所有传感器绝对没缺陷。 压力芯片符合 RoHS 标准,在大多数情况下,由静电粘合在一起的硅/玻璃堆叠组成。
所有晶圆都在金属晶圆框架上安装、测试、切割和交付。 依照产品的不同,每个晶圆的产量约为 600 至 1600 片。
不建议用镊子从晶圆框架上取下芯片。 压力芯片应使用软橡胶制成的工具拾取,中间有一个比传感器膜大的真空孔。
对于表压传感器(背面有孔),带 3 或 4 根针的顶针可用于从晶圆带上取下芯片。
应避免工艺温度高于 225 °C。 最高温度越低,传感器的长期稳定性越好。
使用硬硅胶或环氧树脂进行芯片粘合通常会导致偏移值不稳定和高 TCO(温度系数偏移)。
压力芯片对机械应力很敏感,尤其是满量程压力小于 1 巴的传感器。 这些压力芯片应使用低硬度(A25 或更低)和 50-100 µm 粘合层厚度的软硅胶粘合剂安装。 特别是,应注意防止粘合剂爬上传感器管芯的内壁或外壁,因为这可能会引起输出不稳定。
所有压力芯片都针对长期稳定性和最高输出信号进行了优化。 为实现最佳性能(温度行为、长期漂移、滞后),安装芯片时必须特别小心。
每个压力芯片上的焊盘至少为 100×100 µm。 焊盘材料由铝制成,厚度为 1-2 µm。
铝线或金线可用于引线键合。 良好的热超声金球键合,采用 30 µm 金线 克的拉力。
凝胶可以滴在传感器表面上,以简单地保护焊盘免受腐蚀。 若需要额外的防潮保护,则可以覆盖传感器周围的整个区域,包括接合线。
对于从背面施加压力的表压传感器,Merit Sensor 仍然建议用凝胶保护传感器的顶部,以避免腐蚀铝焊盘。
管的差压直接作用于变送器传感器双侧隔离膜片上,通过膜片内的密封液传导至测量元件上,测量元件将测得的差
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噪声”,也称为“常模噪声”。这两种称呼有时可根据条件区分使用,不过在本文中作为相同的名词
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